关于工艺成本

层次少，费用低。最后还要与foundry沟通。你用到3层金属一般是1，2，6

MPW不一定便宜，量产可以少几个版次和光刻，理论上会便宜

量产 时是按 光刻 次数算钱的。

感谢您的回复！为什么量产时光刻与版次会少些呢?

感谢您的回复！假如说我只用三层金属，那1P3M和1P6M工艺对于MPW来说费用都是一样的吗 ?还是1P6M虽然只用三层但是还是比1P3M要贵（有个其它层金属填充率的问题）?

做MPW，你必须把6m都画上（开pad），做工程批，可以根据自己需要。

恩，您说的很对！那假如说我只用三层金属，那1P3M和1P6M工艺对于MPW来说费用都是一样的吗 ?还是1P6M虽然只用三层但是还是比1P3M要贵（有个其它层金属填充率的问题）?

你用三层，别人同时都只用那三层吗?不然只收你三层的钱，给你只做三层，别人需要六层全做，你的设计中如果不包括其它几层金属，MPW按一般工艺做出来，你的设计能用吗?MPW怎么能做到在你的设计上成本低，别人那里是一般成本?
所以不要指望你只用三层金属就给你便宜，除非整个MPW都只用三层同样的金属，或许可以与工艺厂商量。因为只用三层金属和六层金属全用工艺，严格讲已经是不同工艺，成本不同，价格当然可以不同。
对于一般通用工艺设计中少用金属就想便宜没戏，而且没用到金属还得填充到指定金属覆盖密度，否则会影响别人工艺，工艺厂不会给你做。
MPW基本是按面积收钱，同一wafer上每个基本面积单元价格一样，你就是只用到一层金属，也不比别人用到六层金属省wafer面积。
如果独立投片，你可以只选你用到的金属，特制工艺，减少工艺步骤，可以减少工艺成本，所以用到金属层数少可以便宜。不同金属层，价格也不完全一样。
不知道说明白没有?

mpw一般都要求全工艺层，不太可能只用三层。

感谢您的回复！明白了，谢谢！

mpw 用1p3m和 1p6m 价格应当是一样的，一般画1p3m版图时自己只需要画到第metal3，foundry会制作时会帮你将pad处自动转换为顶层金属，或者还是用metal3，但会帮你开好孔；不过，有些foundry会要求你在pad处一直画到顶层金属，具体怎样，应当和foundry沟通。量产的时候，1p3m和1p6m价格肯定会有很大差异，首先是mask层数1p6m会多 6层，mask费用就会贵很多，其次，wafer本身价格也和用到的mask数量相关的，mask层数越多，wafer价格也越贵

一般情况总会用到至少一种顶层金属，所以只用三层金属，也未见得就是六层金属中的1-3层。

我想知道不打通孔中间层怎么跳。

一般简单重复使用前面的via就是了，而顶层的却不同，不只是金属厚度不同，甚至金属材料也不同。听起来还挺复杂的。

应该foundry 更熟悉

膜拜这位大牛！ 请问能不能帮忙科普一下工艺中各个步骤的成本，或者推荐一些资料?
很感兴趣但又找不到相关资料！先谢谢了！