2M/3M工艺的70um*70um pad 一般对地会有多少寄生电容
时间:10-02
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我根据工艺文件,大致计算过一个70um*70um pad 大约0.8Pf到1.5Pf。(给出范围是因为有些计算值是估计的)
有实际经验的说说啊!
有实际经验的说说啊!
跟layout画法有关吧。用calibre抽一个就可以了啊
看你的PAD用几层METAL了
和Metal 有关
金属宽度 间隔 介电层厚度和介电常数都会影响到耦合电容的计算值,根据不同的工艺文件应该能估算出不同的值
3P左右吧
你的pad好大啊
3pF不太可能吧!太大了
1pF~1.5pF比较常见
你给的面积大呀。
70*70还大?你们的pad一般多大啊?50*50?
确实有50*50的
一般 50*50 的只有0.5p~0.8p
layout劃出來抽RC就知道了
个人经验在0.8p左右。最大不超过1.5p。
扯。70-70都是很小的pad了。一般80-80,我们做的时候都100-100
是这样的,我们节省成本都是70*70或80*80,都是小于规格的(100*100)他们可能是做IP的接触pad 少。
做研发,原型器件流过来要测试,都是自己手邦的。80-80已经郁闷死我了,要是70-70我只能找封测厂了。小批量的那个费用真是坑死爹了。
这个可以算的出来的面积有了你 pad 链接的 最低层最低层金属到 衬底的 距离
假设是metal1以15k 估算
那么电容大概是:0.12pf
如果你的process metal层多 pad 只用到很上面的metal层 那么实际的只有 几百fF
pad 下 还有nw隔离 电容会是怎么样?
估计几十fF吧,用calibre提取下不就知道了么