CMOS工艺中的Epi
时间：10-02
整理：3721RD
点击：
最近做电感，用ASITIC，要修改参数，但是不知道参数中的Epi（在substrate上面的）是什么意思?有高手帮帮忙
外延层的浓度?猜的
帮顶了！
Epi-taxy layer的简称。是在原来的单晶substrate的基础上生长的一层薄的单晶硅层。在bipolar和Bicoms中用来提高bipolar transistor的性能，在CMOS中用来防止latch-up
外延层。
工艺书上都有说
可以忽略吧，CMOS的层次定义可以缺少这一层的。
做螺旋电感时候，好像要用到的。
是的！