active region 有源区 解释
时间:10-02
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active region 有源区 指的是那一部分:只是包括源漏区域 还是包括源漏和沟道的区域?
包括源漏和沟道的区域,即除去场氧的区域
谢谢 还想问一个问题
多晶硅可以跨越源区或漏区引出来吗
poly跨越源区或漏区,产生寄生的MOS管
弱弱地问一下为什么产生的是寄生MOS管啊?
这个所谓的寄生晶体管,其源漏沟道是同一掺杂啊而且其源漏是短接的 影响应该不会太大吧
先做POLY层,后离子注入,跨越ACTIVE的POLY下边,离子无法注入,形成一个寄生的管子,可以用METAL跨过ACTIVE,要不DRC也会报错