请教关于wafer级电容监控问题

如题，如果电路参数对电容值比较敏感，希望通过参数控制或者测试淘汰掉电容值误差过大的芯片，比如误差控制在正负10%，误差绝对值大约100fF，请问有没有哪位高手有相关经验?如何实现低成本的测量方案?或者如何实现对电容值的监控?先谢谢了！

无这方面经验，帮顶。

Are you interested in absolute capacitance value or you are more interested in the ratio of the capacitors?

主要还是电容的绝对值。工艺电容变化范围是正负15%，我想留下正负10%以内的。一般来说应该能留下大部分。