mimcap_mis电容的结构是怎么样的?
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
想问下mimcap_mis电容的结构是怎么样的?有哪些金属构成的?
一般是最上面两层
mimcap_mis和mimcap是一个东东,只是一个有mismatch的参数,一个没有,最上层两层金属中间多家一层mask做的特殊电介质
_mis 是有mismatch模型。
mimcap:对n metal工艺,在top metal和n-1 metal之间加一层作为mim的上极板,n-1作为下极板