有关工艺仿真参数

最近在使用silvaco进行工艺仿真，但是不知道其中的那些参数该如何填写，比如参杂浓度或者是退火时间等等，这些参数是如何得到的，是需要有代工厂的工艺参数文件才能进行工艺仿真么?
如果不需要工艺参数文件，那这些参数是如何确定的呢?

谢谢小编的分享了！

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