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请教cmos工艺如何做npn管?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
书上讲cmos工艺能做lateral&substrate pnp。
不知npn管能不能做,如果能做是否就算是bicmos工艺了。

hi volt cmos可能有 真的 npn或許改使用 bi mcos 也可以.

确实我用的sinomos高压工艺能做npn管,里面做了个类似bipolar工艺的N+埋层,但是该工艺也叫cmos工艺。

如果要做NPN,此CMOS PROCESS需要满足一个条件,即存在一个类似P-WELL的区域,并且此P-WELL要与P-SUB完全隔离

是,只能做寄生的,可以参考拉扎维的书

也叫CMOS,需要增加一层Pbase层,以Nwell做集电极,Pbase做基极,N+做发射极形成NPN

横向NPN管还是有的,不过横向NPN管的贝塔值太小。

那这个nwell不能通过离子注入形成吧,还是得通过埋层的外延生长,否则breakdown电压很小。所以这个nwell与mos的nwell不一定能同一个mask的感觉。

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