蒸镀光学膜内外圈电池性能不均匀

光学镀膜蒸镀设备是均匀的，但是蒸镀后三结砷化镓太阳电池的顶电池出现受损，并且与炉内圈数相关，内圈损伤最严重，外圈基本没有损伤，是否是对AlInP窗口层损伤，尝试了改变蒸镀速率，可是没有变化，
    是否能帮我想想有什么原因么。求助！

不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。不知道啊。