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HFSS搭建5层金属模型的问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
菜鸟想用HFSS搭建5层金属模型,请问65nm工艺下,每层介质层的厚度,silicon nitrate厚度,以及使用哪种介质材料,多晶以及衬底的厚度,请各位路过大牛帮忙哈!不胜赶紧!

看你用什么工艺了,不同的工艺材料参数是不一样的

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