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关于SMIC模型参数

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请教下关于SMIC 0.18um的模型参数怎么去读懂如COX怎么算?急,需要你的帮忙!

好像是氧化层电容

Cox = esi / tox
esi 为硅的介电常数,(相对介电常数3.9)
tox 在cadence中做完DC仿真后,可以通过查看model parameter得到,具体数值记不清了。
好像我上次算的smic0.18的n18管的Cox为0.0089,记不太清了

电常数又叫介质常数,介电系数或电容率,它是表示绝缘能力特性的一个系数,以字母ε表示,单位为法/米(F/m)
  定义为电位移D和电场强度E之比,ε=D/Ε。电位移D的单位是库/二次方米(C/m^2)。
  某种电介质的介电常数ε与真空介电常数ε0之比称为该电介质的相对介电常数εr ,εr=ε/ε0是无量纲的纯数,εr与电极化率χe的关系为εr=1+χe。
  真空介电常数:ε0= 8.854187817×10^-12 F/m
SIO2的相对介电常数为3.9(半导体物理上有)
Cox = esi / tox
注意这里的tox单位是m
结果是0.000892F/m^2

SMIC的那些模型参数貌似不准啊,直流计算偏差大

路过,了解了

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