关于射频铝线串扰的问题

在深亚微米工艺中，两条铝线靠得较近，其中一条传送射频信号，线宽0.3um，线距0.3um，铝线厚0.5um
请问发生串扰的途径是（多选）
1。分布电感
2。线间分布电阻
3。线间分布电容
4。电磁辐射
盼高手解答啊~

马扎一族，我等！

应该是分布电容和辐射，电感，电阻应该不可能

电磁辐射是肯定有的，你这个线距太近了
分布电容和分布电感应该还是和制造工艺有关吧

RE
NEED SIMULATION