咨询sentaurus TCAD中的profile语句
时间:03-15
整理:3721RD
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各位大侠,本人咨询一下sentaurus TCAD中的profile语句。目前在仿真process时需要导入掺杂文件,选用profile语句,如:profile name=boron infile=Doping_Boron.txt 。 但仿真结果一直忽略了这一语句,单独拿出来模拟后发现是无法读取Doping_Boron,我不知道哪里出错了,是不是需要在前面定义一下该文件,一开始我只是将该文件防置在仿真目录下,以为模拟时能自动启动,现在的出错让我毫无头绪,希望有懂的人能指点一二,谢谢!
用plx格式