silvaco TCAD 关于athena与atlas仿真方面的收敛问题
大家好,最近在仿真一个触发管的例子,用athena模拟器件结构,atlas模拟电特性。其中结构模拟按照实际生产工艺进行,尤其是扩散等热过程;电性仿真中模型选择atlas使用手册第4章中的bipolar2模型,数值方法采用牛顿迭代法,扫描方式采用curvetrace。但是仿真过程中发现,只要稍微的改变一下扩散过程中的掺杂浓度,就会导致不收敛的问题;在调试过程中网格设置在结附近及基区已经设得相当密,目前不知道原因在哪里?请高手指点!
你好,此类问题已经很多,
你应该把具体情况描述清楚,比如script, 结构,浓度,横截图,出现convergence的carrier图,等。
不讲清楚问题,谁也无法切中你所说问题的要害。
这里附上杂质分布曲线图,该图与产品的SRP曲线相近
:
还可以提高 method的maxtraps 参数,由10改成15 或20
如果是网格的因素,可以将Athena产生的结构,导入devedit
go athena
.....
structoutf=abc.str
go devedit
将网格用1) 基本网格;2)参杂的梯度; 3) 细部画分 (第三种Linux版才支持) 重新建立网格。
参照其例子,命令就几行
base.mesh height=10.0 width=2.0
constr.mesh material.type=semiconductor max.angle=90 max.ratio=300 max.height=5 \
max.width=1.5 min.height=0.005min.width=0.003
imp.refine imp="NetDoping" sensitivity=0.4
imp.refine imp="Boron" sensitivity=0.6
imp.refine imp="Arsenic" sensitivity=0.5
imp.refine imp="Phosphorus" sensitivity=0.4
Mesh Mode=MeshBuild
# refine – likely work only in linux version
#refine mode=both x1=0.4 y1=0.22 x2=0.60 y2=0.26
structure outfile=abc_de.str
go atlas
这样就可以1)加强收敛速度 2) 提高运算速度
Athena跑完后,注意一下Obtuse triangle 的数量。这种钝角三角形易造成不收敛或减慢速度。上述的DevEdit过程中,会将这种三角形重新建立网格,所以算是有效方法之一。
学习中。
学习中。
网格的定义对离子的注入或扩散会产生多大的影响
Try fixing the meshing of the grid. Choose mesh per zone where high or low is required.
技术贴,支持了