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silvaco 工艺仿真出现的问题,求解决

时间:03-15 整理:3721RD 点击:


刻蚀时,并不出现矩形沟槽,而是这样的,问题出在哪?

找到原因了。因为运用了抛光,导致电极表面不平整,直到影响后面的结构

解决方案,不用抛光,直接刻蚀多余结构就可以了

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