silvaco 工艺仿真出现的问题,求解决
时间:03-15
整理:3721RD
点击:
刻蚀时,并不出现矩形沟槽,而是这样的,问题出在哪?
找到原因了。因为运用了抛光,导致电极表面不平整,直到影响后面的结构
解决方案,不用抛光,直接刻蚀多余结构就可以了
找到原因了。因为运用了抛光,导致电极表面不平整,直到影响后面的结构
解决方案,不用抛光,直接刻蚀多余结构就可以了