如何进行补偿掺杂？

erfc函数的掺杂，好像方向只能朝x轴，PEAK指的是Y轴的位置，请问我如果想改变掺杂方向在silvaco中应如何定义

我顶，等待热心人来回答

我试了使用手册上的例子，好像位置只能朝x方向
X.LEFT=0 X.RIGHT=5 能不能改为其它方向呢?

把你的script贴上来，大家才好帮助你。
erfc是用来模拟离子注入的曲线吗?你可能需要sims来矫正哦。

谢谢，鼓励，脚本如下：
go atlas
# 网格化
mesh space.mult=1.0
x.mesh loc=0.0 spac=1
x.mesh loc=10spac=1
y.mesh loc=0.0 spac=0.1
y.mesh loc=5.0 spac=0.1
y.mesh loc=10spac=0.1
region num=1silicon
elec num=1 top left length=10 name=anode
elec num=2 bottom right length=10name=cathode
doping reg=1 uniform conc=1e16n.type
doping reg=1 erfc conc=1e18 p.typechar=1x.left=0 x.right=8peak=0
models analytic fldmob srh auger bgntemperature=293 print
# impact selb length.rel lrel.ho=0.025 lrel.el=0.025
material region=1 taurel.el=0.25e-12 taumob.el=0.25e-12taurel.ho=0.25e-12taumob.ho=0.25e-12
output band.param band.temp con.bandval.band
solve init outf=guass.str master
tonyplot guass.str
quit

谢谢你的鼓励，输入文件如下：
go atlas
# 网格化
mesh space.mult=1.0
x.mesh loc=0.0 spac=1
x.mesh loc=10spac=1
y.mesh loc=0.0 spac=0.1
y.mesh loc=5.0 spac=0.1
y.mesh loc=10spac=0.1
region num=1silicon
elec num=1 top left length=10 name=anode
elec num=2 bottom right length=10name=cathode
doping reg=1 uniform conc=1e16n.type
doping reg=1 erfc conc=1e18 p.typechar=1x.left=0 x.right=8peak=0
models analytic fldmob srh auger bgntemperature=293 print
# impact selb length.rel lrel.ho=0.025 lrel.el=0.025
material region=1 taurel.el=0.25e-12 taumob.el=0.25e-12taurel.ho=0.25e-12taumob.ho=0.25e-12
output band.param band.temp con.bandval.band
solve init outf=guass.str master
tonyplot guass.str
quit
能不能把x.left x.right 改成其它方向啊

请大家看看这个吧

请大家看看这个问题如何处理?

这个图1，2，3区有不同的掺杂浓度，4区是高掺杂区域，但我在4区与1，2，3区的边缘想得到一样的掺杂浓度
4区采用erfc函数，erfc eigon=4,PEAK=0,X.LEFT=0,X.RIGHT=2 想把峰值浓度设置在4区的最左边，浓度沿着水平方向变化。可是结果却是峰值在4区的最上面，浓度沿着垂直方向变化.
请问erfc函数难道其变化方向只能在水平方向吗?这个肯定是不对的。要怎样设置才能达到我的目的呢?另外请问linux下是不是很容易实现啊

现在不常用silvaco，问题看来出在x.right的定义上，你试试调整一下那个数值，应该自己就能找到答案。

这个问题自己已经解决了，很奇怪我这个问题怎么没什么人回答，是不是我这问题太没水平了，还是论坛人气不够?