ATHENA和ATLAS自定义材料的问题
时间:03-15
整理:3721RD
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各位前辈好,请教一个问题
问题背景:
用silvaco仿真MOS结构,先用ATHENA定义器件结构,之后用ATLAS调用ATHENA定义的结构进行器件仿真
问题:
由于先执行ATHENA,后执行ATLAS,要问的是在ATHENA中能调用ATLAS中自定义的材料吗?如下面的例子
go athena
line x loc=0spac=0.2
……
line y loc=2 spac=0.1
depositGBthick=0.5spaces=20
……
save outfile=final.str
go atlas
mesh inf=final.str
material material=GB user.group=semiconductor user.default=silicon
……
quit
问题背景:
用silvaco仿真MOS结构,先用ATHENA定义器件结构,之后用ATLAS调用ATHENA定义的结构进行器件仿真
问题:
由于先执行ATHENA,后执行ATLAS,要问的是在ATHENA中能调用ATLAS中自定义的材料吗?如下面的例子
go athena
line x loc=0spac=0.2
……
line y loc=2 spac=0.1
depositGBthick=0.5spaces=20
……
save outfile=final.str
go atlas
mesh inf=final.str
material material=GB user.group=semiconductor user.default=silicon
……
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