安装sentaurus2013时，出现问题

安装sentaurus时，提示bash: /home/eda/2013/amd64/bin/lmgrd: No such file or directory。但是文件目录里里有那个文件啊
# .bashrc
# Source global definitions
if [ -f /etc/bashrc ]; then
. /etc/bashrc
fi
# User specific aliases and functions

# Silvaco
export PATH=$PATH:/home/eda/silvaco/bin
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#Synopsys sentaurus installation path:
export SENTAURUS_HOME=/home/eda/2013/1
export PATH=$PATHSENTAURUS_HOME/bin
#######################################################
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#SCL installation path:
export SCL_HOME=/home/eda/2013/amd64
export PATH=$PATHSCL_HOME/bin
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#License path:
LM_LICENSE_FILE=/home/eda/2013/license/synopsys3.dat
export LM_LICENSE_FILE
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#Tcad project path:
STDB=/home/eda/2013
export STDB
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#input lauguage when Tcad running
LANG=en_US
export LANG=en_US
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#verify whether license is wake-up
/home/eda/2013/amd64/bin/lmgrd -c /home/eda/2013/license/synopsys3.dat -l /home/eda/2013/license/synopsys3.log
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check if your directory of folder is correct.

在啊

chmod u+x lmgrd

#verify whether license is wake-up
/home/eda/2013/amd64/bin/lmgrd -c /home/eda/2013/license/synopsys3.dat -l /home/eda/2013/license/synopsys3.log
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