用silvaco软件 做沟槽MOS器件的TCAD仿真与设计

各位大神，菜鸟想要问一下有人用SILVACO做过trench mos 的TCAD仿真与设计吗?
本科毕设各种不会求指导！求点拨！

直接用ATLAS写器件结构行不行啊，求解

可以，不过我是写的process，silvaco网站可以找到example的。

回复 3# zz1313

我是0809 win版的，里面没有找到trench 的，你有的话可以给我发一个吗?1559748510@qq.com
多谢啦！

到silvaco网站自己搜一下，有很多的。
http://www.silvaco.com/search.html?cof=FORID%3A11&cx=018000630505577909806%3Aqce6qwtfd-e&q=trench&sa.x=0&sa.y=0&sa=+Search+

多谢！

您好，我是在校本科生，在做毕业设计，自己做出来的管子仿真不出来击穿电压，那个您给的链接都是单个的工艺，没有完整的PROCESS啊，请问能不能把您写的沟槽型功率MOS的PROCESS告诉我啊，如果不方便也没关系

谢谢分享，不错的资料

请问你会silvaco软件吗?求指教啊实在是穷途末路了我做的是APD器件仿真探测微弱光