急求silvaco TCAD关于二极管的例子

自己先顶一个。

我也想要，找不到哦，哎。

examples loader

很好的资源，谢谢！

我也要，谢谢。

哪位发个SOI参考一下，感谢

thx for sharing

设计一个宽度为2um 深度为2um的二极管
go athena
line x loc=0.00 spac=0.2
line x loc=1 spac=0.1
line x loc=1.1 spac=0.02
line x loc=2 spac=0.25
line y loc=0.00 spac=0.02
line y loc=0.2 spac=0.1
line y loc=0.4 spac=0.02
line y loc=2 spac=0.5
init silicon c.phos=5.0e18 orientation=100
deposit oxide thick=0.50 divisions=5
etch oxide left pl.x=1
implant boron does=1.0e15 energy=50 pearson tilt=7 rotation=0 amorph
method fermi compress
diffus time=30 temp=1000 nitro press=1.00
extract name="xj" xj material="silicon" mat.occno=1 x.val=0 junc.occno=1
entract name="rho" sheet.res material="silicon"mat.occno=1 x.val=0 region.occno=1
etch oxide all
deposit alum thickness=0.2 div=3
etch alum right pl.x=1.0
electrode name=anode x=0.0
electrode name=cathde backside
structure outf=diodeex01_0.str
tonyplot diodeex01_0.str
quit

请问语句中的那个peason 还有amorph是什么意思呀