silvaco中编程中的error

在编程刻蚀过程之前，出现了***** Error *****
The structure has been deleted. The program cannot continue.
什么叫结构不存在不能被刻蚀
新手求助

刻蚀的时候有可能在之前已经刻蚀掉了 所以现在无法进行下步建议你把每一步光刻胶盖在什么地方都画出来 这样就知道哪里错了