咨询Silvaco中工艺仿真的z方向问题

在Silvaco中，使用Athena进行工艺仿真时，我们都只定义x，y两个方向的网格，z反向的都没有定义，我想知道z方向的默认尺寸是多少?可以改变吗?

默认是1μm，当然可以通过z.mesh来改变

谢谢，再请问一下，工艺仿真时，有办法设置成三维的吗?例如下面的，有line z这个参数吗?

line
x
location=x1 spacing=s1

line x location=x2 spacing=s2

line y location=y1 spacing=s3

line y location=y2 spacing=s4