silvaco dev3D的问题

我用athena做了一个2D的SOI结构，想在dev3d里面把这个2D的结构拓展成3D。问题是用region语句只能把埋氧层在z方向拓展，栅氧却被忽略的，这是什么原因呢?（比如region id=1 mat="silicon oxide" z1=0 z2=0.6+$length）。是不是要再加其他的语句?

是victory device?

难得的好资料 感谢！