用silvaco 器件仿真

各位大神有没有人知道怎么用silvaco中的atlas进行进行仿真的?
我要仿的是沟槽型mosfet,是0809win版的，程序自带例子都是比较基础简单的，
想问一下trench mos 区域定义：
p-body 和n外延部分是整个外延一起定义然后p掺杂，还是这两个部分单独划分区域分别掺杂?
下面是图

若有大神做过能否提供一下结构定义的程序?感激不尽！

在外延层上掺杂做P-body和N+区