Sentaurus做器件仿真时从哪儿能获取器件的仿真参数？
时间：03-15
整理：3721RD
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请问大家在用sentaurus做器件仿真时，诸如器件的大小，掺杂等参数能从哪里获取?文献?还是ITRS?还是靠经验?
通过工艺仿真得到啊，首先有工艺参数得到掺杂分布等参数，再用到器件仿真里
没有工艺标准啊，
靠猜不太可靠，最好是与工艺厂家合作，这样得到一些参数才能比教准确的去跑仿真，得到的数值才有参考的价值