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如果VDMOS工艺可以兼容普通MOS器件,是否就可以让VDMOS器件和LDMOS器件共存?
理论上是可以的,实际中比较少见
这个比较难,因为VDMOS的D是在芯片背面,工艺上有很大的难度。一般用LDMOS和CMOS集成,BCD工艺就是这样。
可以的,主要看器件性能了,通常工艺是针对按需求优化
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