silvaco做液态POCL3的扩散模拟
时间：03-14
整理：3721RD
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请教关于silvaco做液态三氯氧磷扩散模拟,因为过程中伴随通O2,不知道有谁了解
期待牛人来解答
同样求解。
貌似可以做。但是需要知道N2中携带POCl3的比例。
见论坛里面有人提过有文献的。正在寻找中……
heimareed@126.com
Using extract to get surface conc. / RS...etc.
and measure real wafer (RS).. to get your own calibration rule.