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ESD如何仿真？

时间：10-02 整理：3721RD 点击：

请教！
HFSS 中不知道可否仿真 ESD 问题?

ESD主要涉及半导体材料特性，用HFSS估计很难仿真，一般用TCAD工具，涉及到工艺参数@@

ESD是静电场的施放，HFSS不能仿真

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