请教一个电小尺寸的仿真问题

最近要仿真一个高介电常数的共面波导，主要是想看一下传输线附近场的分布。传输线宽大概15um,
传输线跟地之间缝隙20um,
介质厚度250um,
用HFSS仿真，网格太密跑不动，太梳，结果又不对，局部加细过结果也不对，请教各位这种问题如何解决?