现代测试技术发展趋势
时间：10-02
整理：3721RD
点击：
当前的传感、测量和仪器在机械系统和制造过程中的作用和重要性较之过去有明显提高，已作为必须的组成部分参与到系统的功能中，这种地位的变化，加之机械及制造技术的快速发展导致对传感、测量和仪器的研究不断深入，内容不断拓展。当前乃至将来一段时间内，本领域内研究的问题主要集中在传感原理、数字化测量、超精密测量、测量理论及基准标准等方面。涉及的共性问题有：新型传感原理及技术，先进制造的现场、非接触及数字化测量，机械测试类仪器“有界无限”统一模型的建立及实现，超大尺寸精密测量，微/纳米级超精密测量，基准标准及相关测量理论研究等，上述问题的研究也是测量技术研究领域内最具活力、最有代表性的研究方向。
(1)新型测量问题的不断出现和最终解决有赖于传感原理和测量传感器研究的创新。综合目前国内外研究状况，该领域大致有两方面主要工作：研究开发全新传感器原理和传感器；深入研究和改进已有的传感原理和传感器，以获得更好的性能。前者如近年来获得广泛关注的基于MEMS工艺的集成多参数传感器、耐高温压力传感器、微惯性传感器、光纤传感器等；后者如电容、电感、电涡流、光栅尺、磁栅尺、观测型扫描电镜、激光干涉仪等传统传感器的深入原理研究和性能改进措施。
(2)传统的制造系统中，制造和检测常常是分离的，测量环境和制造环境不一致，测量的目的是判断产品是否合格，测量信息对制造过程无直接影响。现代制造业已呈现出和传统制造不同的设计理念、制造技术，测量技术应当从传统的非现场、“事后”测量，进入制造现场，参与到制造过程，实现现场在线测量。现场、在线测量的共同问题包括非接触、快速测量传感器研制与开发、测量系统及其控制、测量设备与制造设备的集成几方面。近年来数字化测量的迅速发展为先进制造中的现场、非接触测量提供了有效解决方案，多尺寸视觉在线测量、数码柔性坐标测量、机器人测量机、三维形貌测量等数字化测量原理、技术与系统的研究取得了显著的研究成果，并获得成熟的工业应用。
(3)领域测试类(例如机械测试类)仪器的“有界无限”统一模型的建立。所谓“有界无限”是指“领域测试”是一个“界”，只要在这个“界”内，同类测试的功能或仪器都将被包含或可添加到这一系统中。这一统一模型称之为“岩石模型”。基于这一模型理论，对测试功能虚拟控件进行多次、深度集成制造便可由上述模型演变成为一个“有界无限”、包含大量测试仪器并可实际使用的复杂、巨型虚拟测试仪器库。这是一个复杂的功能测试系统，同时也是一个开放的系统。对于它已有的资源可以立即满足测试的要求，它还没有的资源可以很快地在模型内自动生成或开发，从而可以继续满足任何新的测试需求。通过这一模型的建立，将使传统仪器的“单机”概念消失，代之而起的是经多次、深度集成制造而成的大型“仪器库”。在将来的测试仪器中，“仪器库”将成为测试测量所使用的仪器“单位”，而同一行业的只需使用这一仪器“单位”可满足其全部测试要求。
(4)微/纳米技术作为当前发展最迅速，研究广泛、投入最多的科学技术之一，被认为是当前科技发展的重要前沿。在该科技中，微/纳米的超精密测量技术是代表性的研究领域，也是微/纳米科技得以发展的前提和基础。在微/纳测量领域，基础问题包括纳米计量、纳米测量系统理论与设计、微观形貌测量等方面，主要研究问题和方向为：基于扫描电子显微镜的精密纳米计量、微纳坐标测量机(分子测量机)、基于干涉的非接触微观形貌测量、基于原子晶格作刻度的X射线干涉测量及其与光学干涉仪的组合原理、纳米测量系统设计理论和微纳尺寸测量条件的研究等。涉及的重要工程测量问题有：面向MEMS和MOEMS的微尺度测量、面向22～45nm极大规模集成电路制造的测量等。
(5)超大尺寸测量的主要任务是获取与评价大型和超大型装备与系统制造过程中机械特性和物理特性等信息，分析各影响制造性能的要素与机理，为提升制造能力与水平提供科学依据。在超大尺寸测量领域内的、共性基础问题包括距离测量原理、超大尺寸空间坐标测量、超大尺寸测量的现场溯源原理与方法。代表性研究方向和重要测量问题如：大尺寸、高速跟踪坐标测量系统；车间范围空间定位系统(WPS)；GPS在超大机械系统中的应用关键技术；数字造船中结构尺寸、容积测量；飞机制造中形状尺寸测量；超大型电站装备和重机装备制造中的测量；面向大型尖端装备制造的超精密测量等。
(6)基准标准技术是测量技术水平的最高表现形式，是发展超精密制造的前提和保障，也是引导促进先进加工和测量技术发展的技术基础。基准标准技术滞后将严重制约精密制造和装备制造业的发展。尤其是，在过去的10年中，超精加工技术的提高使得工业界可以制造以前难以想象的微小和形状复杂的工件，表面粗糙度正在达到原子级尺度，并可由像原子力显微镜等这样复杂的显微镜来进行测量。但是相应的标准还没有制定，需要制定新的纳米尺度上表面粗糙度和公差测量标准作为新的纳米测量基础。与此对应，研究对应芯片、掩模板测量中的线条宽度、间距、台阶高度、表面粗糙度、膜厚等被测量的校对样板，并对这些样板进行标定和比对，对于保证这些几何参数量值的统一和溯源具有十分重要的意义。
多传感器测量及测量信息融合技术是现代测量计量技术出现的新特点，现代复杂机电系统涉及信息多，测量信息量大，传感器数量较多，多源巨量信息分析评估困难，需借助数据融合理论进行处理，多传感器测量应用中的数据融合技术正逐渐成为提升测量系统性能的关键技术之一。
(1)新型测量问题的不断出现和最终解决有赖于传感原理和测量传感器研究的创新。综合目前国内外研究状况，该领域大致有两方面主要工作：研究开发全新传感器原理和传感器；深入研究和改进已有的传感原理和传感器，以获得更好的性能。前者如近年来获得广泛关注的基于MEMS工艺的集成多参数传感器、耐高温压力传感器、微惯性传感器、光纤传感器等；后者如电容、电感、电涡流、光栅尺、磁栅尺、观测型扫描电镜、激光干涉仪等传统传感器的深入原理研究和性能改进措施。
(2)传统的制造系统中，制造和检测常常是分离的，测量环境和制造环境不一致，测量的目的是判断产品是否合格，测量信息对制造过程无直接影响。现代制造业已呈现出和传统制造不同的设计理念、制造技术，测量技术应当从传统的非现场、“事后”测量，进入制造现场，参与到制造过程，实现现场在线测量。现场、在线测量的共同问题包括非接触、快速测量传感器研制与开发、测量系统及其控制、测量设备与制造设备的集成几方面。近年来数字化测量的迅速发展为先进制造中的现场、非接触测量提供了有效解决方案，多尺寸视觉在线测量、数码柔性坐标测量、机器人测量机、三维形貌测量等数字化测量原理、技术与系统的研究取得了显著的研究成果，并获得成熟的工业应用。
(3)领域测试类(例如机械测试类)仪器的“有界无限”统一模型的建立。所谓“有界无限”是指“领域测试”是一个“界”，只要在这个“界”内，同类测试的功能或仪器都将被包含或可添加到这一系统中。这一统一模型称之为“岩石模型”。基于这一模型理论，对测试功能虚拟控件进行多次、深度集成制造便可由上述模型演变成为一个“有界无限”、包含大量测试仪器并可实际使用的复杂、巨型虚拟测试仪器库。这是一个复杂的功能测试系统，同时也是一个开放的系统。对于它已有的资源可以立即满足测试的要求，它还没有的资源可以很快地在模型内自动生成或开发，从而可以继续满足任何新的测试需求。通过这一模型的建立，将使传统仪器的“单机”概念消失，代之而起的是经多次、深度集成制造而成的大型“仪器库”。在将来的测试仪器中，“仪器库”将成为测试测量所使用的仪器“单位”，而同一行业的只需使用这一仪器“单位”可满足其全部测试要求。
(4)微/纳米技术作为当前发展最迅速，研究广泛、投入最多的科学技术之一，被认为是当前科技发展的重要前沿。在该科技中，微/纳米的超精密测量技术是代表性的研究领域，也是微/纳米科技得以发展的前提和基础。在微/纳测量领域，基础问题包括纳米计量、纳米测量系统理论与设计、微观形貌测量等方面，主要研究问题和方向为：基于扫描电子显微镜的精密纳米计量、微纳坐标测量机(分子测量机)、基于干涉的非接触微观形貌测量、基于原子晶格作刻度的X射线干涉测量及其与光学干涉仪的组合原理、纳米测量系统设计理论和微纳尺寸测量条件的研究等。涉及的重要工程测量问题有：面向MEMS和MOEMS的微尺度测量、面向22～45nm极大规模集成电路制造的测量等。
(5)超大尺寸测量的主要任务是获取与评价大型和超大型装备与系统制造过程中机械特性和物理特性等信息，分析各影响制造性能的要素与机理，为提升制造能力与水平提供科学依据。在超大尺寸测量领域内的、共性基础问题包括距离测量原理、超大尺寸空间坐标测量、超大尺寸测量的现场溯源原理与方法。代表性研究方向和重要测量问题如：大尺寸、高速跟踪坐标测量系统；车间范围空间定位系统(WPS)；GPS在超大机械系统中的应用关键技术；数字造船中结构尺寸、容积测量；飞机制造中形状尺寸测量；超大型电站装备和重机装备制造中的测量；面向大型尖端装备制造的超精密测量等。
(6)基准标准技术是测量技术水平的最高表现形式，是发展超精密制造的前提和保障，也是引导促进先进加工和测量技术发展的技术基础。基准标准技术滞后将严重制约精密制造和装备制造业的发展。尤其是，在过去的10年中，超精加工技术的提高使得工业界可以制造以前难以想象的微小和形状复杂的工件，表面粗糙度正在达到原子级尺度，并可由像原子力显微镜等这样复杂的显微镜来进行测量。但是相应的标准还没有制定，需要制定新的纳米尺度上表面粗糙度和公差测量标准作为新的纳米测量基础。与此对应，研究对应芯片、掩模板测量中的线条宽度、间距、台阶高度、表面粗糙度、膜厚等被测量的校对样板，并对这些样板进行标定和比对，对于保证这些几何参数量值的统一和溯源具有十分重要的意义。
多传感器测量及测量信息融合技术是现代测量计量技术出现的新特点，现代复杂机电系统涉及信息多，测量信息量大，传感器数量较多，多源巨量信息分析评估困难，需借助数据融合理论进行处理，多传感器测量应用中的数据融合技术正逐渐成为提升测量系统性能的关键技术之一。
学习了