键合对准模块

特征与优点

• 图形和线条识别软件
• 可见光和红外照明，可实现极佳的对准性能
• 正面、背面和基片内对准模式

精确的键合后对准依赖于精确的键合前对准。
与世界各地数以千计应用的掩模对准光刻机相同的晶圆对准技术。
您完全可以信任亚微米级晶圆间键合对准技术的重复性

开眼了。

国外的好东东 非常的多！