仪器(Agilent 8960)上显示这IIIegal parameter value 是什么原因造成的

校准初始化的时候仪器(Agilent 8960)上显示这IIIegal parameter value个的时候程控电源(Agilent 66332A)就进入Dis状态,
请问是什么问题造成的啊